凸模是沖模中起直接形成沖件作用的凸形工作零件，即以外形為工作表面的零件。18、凹模凹模是沖模中起直接形成沖件作用的凹形工作零件，即以內(nèi)形為工作表面的零件。19、防護(hù)板防護(hù)板是防止手指或異物進(jìn)入沖模危險(xiǎn)區(qū)域的板狀零件。20、壓料板（圈）壓料板（圈）是沖模中用于壓...

在曝光過(guò)程中，需要對(duì)不同的參數(shù)和可能缺陷進(jìn)行跟蹤和控制，會(huì)用到檢測(cè)控制芯片/控片（Monitor Chip）。根據(jù)不同的檢測(cè)控制對(duì)象，可以分為以下幾種：a、顆粒控片（Particle MC）：用于芯片上微小顆粒的監(jiān)控，使用前其顆粒數(shù)應(yīng)小于10顆；b、卡盤(pán)顆?？?..

由英國(guó)、希臘和美國(guó)**組成的安提基特拉機(jī)械研究計(jì)劃成員于2008年7月時(shí)，在機(jī)械上的一個(gè)青銅轉(zhuǎn)盤(pán)發(fā)現(xiàn)了一個(gè)字 "Olympia"，相信是用來(lái)指示卡利巴斯周期（Callippic cycle）；另外也發(fā)現(xiàn)了其他古希臘競(jìng)賽的名字，因此這可能是用來(lái)追蹤古代奧林匹克運(yùn)...

西塞羅的著作《論共和國(guó)》，一本西元前一世紀(jì)的哲學(xué)對(duì)話錄，提及兩個(gè)現(xiàn)代被認(rèn)為是某種天象儀或太陽(yáng)系儀的儀器，可以預(yù)測(cè)日月和五顆行星在天球的位置。這兩個(gè)儀器都是由阿基米德制造，在阿基米德于西元前212年的敘拉古圍城戰(zhàn)身亡后，這兩臺(tái)機(jī)器被羅馬將領(lǐng)馬庫(kù)斯·克勞迪烏斯·馬...

所有實(shí)際電子束曝光、顯影后圖形的邊緣要往外擴(kuò)展，這就是所謂的“電子束鄰近效應(yīng)。同時(shí)，半導(dǎo)體基片上如果有絕緣的介質(zhì)膜，電子通過(guò)它時(shí)也會(huì)產(chǎn)生一定量的電荷積累，這些積累的電荷同樣會(huì)排斥后續(xù)曝光的電子，產(chǎn)生偏移，而不導(dǎo)電的絕緣體（如玻璃片）肯定不能采用電子束曝光。還有...

c、水坑（旋覆浸沒(méi)）式顯影（Puddle Development）。噴覆足夠（不能太多，**小化背面濕度）的顯影液到硅片表面，并形成水坑形狀（顯影液的流動(dòng)保持較低，以減少邊緣顯影速率的變化）。硅片固定或慢慢旋轉(zhuǎn)。一般采用多次旋覆顯影液：***次涂覆、保持10～...

1.氣相成底模2.旋轉(zhuǎn)烘膠3.軟烘4.對(duì)準(zhǔn)和曝光5.曝光后烘焙（PEB）6.顯影7.堅(jiān)膜烘焙8.顯影檢查光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個(gè)主要工藝。是對(duì)半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開(kāi)孔，以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。準(zhǔn)分子光刻技術(shù)作為...

b、堅(jiān)膜，以提高光刻膠在離子注入或刻蝕中保護(hù)下表面的能力；c、進(jìn)一步增強(qiáng)光刻膠與硅片表面之間的黏附性；d、進(jìn)一步減少駐波效應(yīng)（Standing Wave Effect）。常見(jiàn)問(wèn)題：a、烘烤不足（Underbake）。減弱光刻膠的強(qiáng)度（抗刻蝕能力和離子注入中的阻...

光刻技術(shù)是現(xiàn)代集成電路設(shè)計(jì)上一個(gè)比較大的瓶頸?，F(xiàn)cpu使用的45nm、32nm工藝都是由193nm液浸式光刻系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，但是因受到波長(zhǎng)的影響還在這個(gè)技術(shù)上有所突破是十分困難的，但是如采用EUV光刻技術(shù)就會(huì)很好的解決此問(wèn)題，很可能會(huì)使該領(lǐng)域帶來(lái)一次飛躍。但是涉...

1902年5月17日，考古學(xué)家維拉理奧斯·史大理斯檢查發(fā)現(xiàn)的沉船中物品時(shí)發(fā)現(xiàn)一個(gè)齒輪嵌在一塊巖石中。 [1]史大理斯一開(kāi)始認(rèn)為這是天文鐘，但多數(shù)學(xué)者認(rèn)為這是時(shí)代錯(cuò)誤，這物品和同時(shí)期發(fā)現(xiàn)的其他東西相較之下太過(guò)復(fù)雜。對(duì)該物品調(diào)查的熱潮很快下降，直到1951年英國(guó)物...

廣角鏡頭是一種焦距短于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、視角大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭、焦距長(zhǎng)于魚(yú)眼鏡頭、視角小于魚(yú)眼鏡頭的攝影鏡頭。廣角鏡頭又分為普通廣角鏡頭和超廣角鏡頭兩種。普通廣角鏡頭的焦距一般為38－24毫米，視角為60－84度；超廣角鏡頭的焦距為20－13毫米，視角為94-118度。由于...

遠(yuǎn)攝鏡頭也稱為長(zhǎng)焦距鏡頭，是指比標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的焦距長(zhǎng)的攝影鏡頭。長(zhǎng)焦距鏡頭分為普通遠(yuǎn)攝鏡頭和超遠(yuǎn)攝鏡頭兩類，普通遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距長(zhǎng)度接近標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，而超遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。遠(yuǎn)攝鏡頭是攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭主焦距***地大于底片對(duì)角線長(zhǎng)度(即大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭...

德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯經(jīng)過(guò)前人數(shù)十年為了了解該裝置的研究后，1951年英國(guó)科學(xué)歷史學(xué)家德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯對(duì)該機(jī)械進(jìn)行了系統(tǒng)性研究。普萊斯以標(biāo)題“時(shí)鐘以前的發(fā)條裝置”（Clockwork before the Clock）和“發(fā)條裝置的由來(lái)”（O...

使用長(zhǎng)焦鏡頭拍攝時(shí)，測(cè)光比較好采用機(jī)內(nèi)TTL測(cè)光方式。因?yàn)椋胀ǖ娜肷涫交蚍瓷涫綔y(cè)光表的受光角往往大于鏡頭視角，直接按測(cè)光表數(shù)值曝光會(huì)出現(xiàn)偏差 [6]。1、使用較高快門(mén)速度高速快門(mén)可以降低或避免相機(jī)抖動(dòng)造成的圖像發(fā)虛。尤其是手持相機(jī)時(shí)，應(yīng)首先考慮通過(guò)提高快門(mén)速...

此前人們認(rèn)為該裝置是古希臘人使用的一種計(jì)算器，用來(lái)描繪天空中行星的運(yùn)行軌跡，以幫助當(dāng)時(shí)的人識(shí)別方向。然而，科學(xué)家們現(xiàn)在**了這部裝置表面破損的銘文后發(fā)現(xiàn)，它實(shí)際上是用來(lái)研究**的。安提基特拉機(jī)械裝置是其同時(shí)代的一個(gè)孤例。它憑一己之力改寫(xiě)了我們對(duì)古希臘技術(shù)的認(rèn)知...

后烘方法：熱板，110～130C,1分鐘。目的：a、減少駐波效應(yīng)；b、激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠的PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。顯影方法：a、整盒硅片浸沒(méi)式顯影（Batch Development）。缺點(diǎn)：顯影液消耗很大；顯影...

邊緣光刻膠的去除光刻膠涂覆后，在硅片邊緣的正反兩面都會(huì)有光刻膠的堆積。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻，不能得到很好的圖形，而且容易發(fā)生剝離（Peeling）而影響其它部分的圖形。所以需要去除。方法：a、化學(xué)的方法（Chemical EBR）。軟烘后，用PGMEA或...

EUV光刻技術(shù)的發(fā)展能否趕得上集成電路制造技術(shù)的要求？這仍然是一個(gè)問(wèn)題。當(dāng)然，EUV光刻技術(shù)的進(jìn)步也是巨大的。截止2016年，用于研發(fā)和小批量試產(chǎn)的EUV光刻機(jī)，已經(jīng)被安裝在晶圓廠，并投入使用 [1]。EUV光刻所能提供的高分辨率已經(jīng)被實(shí)驗(yàn)所證實(shí)。光刻機(jī)供應(yīng)商...

準(zhǔn)分子光刻技術(shù)作為當(dāng)前主流的光刻技術(shù)，主要包括：特征尺寸為0．1μm的248 nm KrF準(zhǔn)分子激光技術(shù)；特征尺寸為90 nm的193 nm ArF準(zhǔn)分子激光技術(shù)；特征尺寸為65 nm的193 nm ArF浸沒(méi)式技術(shù)（Immersion，193i）。其中193...

德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯經(jīng)過(guò)前人數(shù)十年為了了解該裝置的研究后，1951年英國(guó)科學(xué)歷史學(xué)家德瑞克·約翰·德索拉·普萊斯對(duì)該機(jī)械進(jìn)行了系統(tǒng)性研究。普萊斯以標(biāo)題“時(shí)鐘以前的發(fā)條裝置”（Clockwork before the Clock）和“發(fā)條裝置的由來(lái)”（O...

制造掩模版，比較靈活。但由于其曝光效率低，主要用于實(shí)驗(yàn)室小樣品納米制造。而電子束曝光要適應(yīng)大批量生產(chǎn)，如何進(jìn)一步提高曝光速度是個(gè)難題。為了解決電子束光刻的效率問(wèn)題，通常將其與其他光刻技術(shù)配合使用。例如為解決曝光效率問(wèn)題，通常采用電子束光刻與光學(xué)光刻進(jìn)行匹配與混...

前方的轉(zhuǎn)盤(pán)可能至少有三個(gè)指針，***個(gè)指針指示日期，另外兩個(gè)則分別指示太陽(yáng)和月球位置。月球的指針已被調(diào)整過(guò)**月球軌道的變化，因此相信太陽(yáng)的指針也有過(guò)類似的調(diào)整，但相關(guān)機(jī)制的齒輪（如有）已經(jīng)不存。前方轉(zhuǎn)盤(pán)的第二個(gè)功能則是有一個(gè)月球的球形，做為月相指示。該機(jī)械上...

已找到一個(gè)制造于5或6世紀(jì)拜占庭帝國(guó)，和一個(gè)日晷相連接的日期齒輪的殘??；該儀器可能是做為報(bào)時(shí)輔助。在**世界中，西元9世紀(jì)早期阿拉伯帝國(guó)的哈里發(fā)委托巴努·穆薩寫(xiě)下的《巧妙設(shè)備之書(shū)》（Book of Ingenious Devices，暫譯）。該書(shū)描述了超過(guò)一百...

遠(yuǎn)攝鏡頭也稱為長(zhǎng)焦距鏡頭，是指比標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的焦距長(zhǎng)的攝影鏡頭。長(zhǎng)焦距鏡頭分為普通遠(yuǎn)攝鏡頭和超遠(yuǎn)攝鏡頭兩類，普通遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距長(zhǎng)度接近標(biāo)準(zhǔn)鏡頭，而超遠(yuǎn)攝鏡頭的焦距卻遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。遠(yuǎn)攝鏡頭是攝影輔助鏡頭的一種。鏡頭主焦距***地大于底片對(duì)角線長(zhǎng)度(即大于標(biāo)準(zhǔn)鏡頭...

EUV光刻系統(tǒng)的發(fā)展歷經(jīng)應(yīng)用基礎(chǔ)研究至量產(chǎn)四個(gè)階段，其突破得益于多元主體協(xié)同創(chuàng)新和全產(chǎn)業(yè)鏈資源整合 [3]。截至2024年12月，EUV技術(shù)已應(yīng)用于2nm芯片量產(chǎn)，但仍需優(yōu)化光源和光刻膠性能。下一代技術(shù)如納米壓印和定向自組裝正在研發(fā)中 [6]。**光刻系統(tǒng)主要...

攝影者也許會(huì)有這樣的體會(huì)：在照相機(jī)上裝上一個(gè)遠(yuǎn)攝鏡頭并從單鏡頭反光照相機(jī)取景器中觀察，竟一時(shí)無(wú)法想象充盈于取景器畫(huà)面的景象在何方位，不得已，只好將眼睛離開(kāi)照相機(jī)取景目鏡眺望實(shí)景，方搞清楚原來(lái)是鏡頭視野太窄，它所“見(jiàn)”到的只是人眼通常所見(jiàn)到的畫(huà)面中相當(dāng)小的一部分...

善的評(píng)價(jià)莫過(guò)于MTF （Modulation Transfer Function）。但是由于像差（標(biāo)定的原因），鏡頭的每個(gè)范圍都有一個(gè)MTF值。這些范圍指的是：（1）近軸部分，（2）離軸部分，（3）當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)存在不對(duì)稱畸變時(shí)，上述兩部分在不同方向上的子部分。每...

定焦鏡頭（prime lens）是指只有一個(gè)固定焦距的鏡頭，沒(méi)有焦段一說(shuō)，或者說(shuō)只有一個(gè)視野。定焦鏡頭沒(méi)有變焦功能。 [1]定焦鏡頭的設(shè)計(jì)相對(duì)變焦鏡頭而言要簡(jiǎn)單得多，但一般變焦鏡頭在變焦過(guò)程中對(duì)成像會(huì)有所影響，而定焦鏡頭相對(duì)于變焦機(jī)器的比較大好處就是對(duì)焦速度快...

攝影者也許會(huì)有這樣的體會(huì)：在照相機(jī)上裝上一個(gè)遠(yuǎn)攝鏡頭并從單鏡頭反光照相機(jī)取景器中觀察，竟一時(shí)無(wú)法想象充盈于取景器畫(huà)面的景象在何方位，不得已，只好將眼睛離開(kāi)照相機(jī)取景目鏡眺望實(shí)景，方搞清楚原來(lái)是鏡頭視野太窄，它所“見(jiàn)”到的只是人眼通常所見(jiàn)到的畫(huà)面中相當(dāng)小的一部分...

手動(dòng)光圈變焦鏡頭焦距可變的，有一個(gè)焦距調(diào)整環(huán)，可以在一定范圍內(nèi)調(diào)整鏡頭的焦距，其可變比一般為2 ～3倍，焦距一般為3.6~8mm。實(shí)際應(yīng)用中，可通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)鏡頭的變焦環(huán)，可以方便地選擇被監(jiān)視地市場(chǎng)的市場(chǎng)角。但是當(dāng)攝像機(jī)安裝位置固定下以后，在頻繁地手動(dòng)調(diào)整變焦是...