金屬表面處理真空鍍膜長期停機(jī)后設(shè)備重啟故障頻發(fā)怎么處理？

廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

長期停機(jī)后重啟頻發(fā)故障，金屬表面處理設(shè)備應(yīng)先執(zhí)行“暖機(jī)三步”： 更換旋片泵油并點(diǎn)動(dòng)排氣，防止油乳化致抽速下降； 用氦質(zhì)譜儀檢漏，重點(diǎn)檢查法蘭與觀察窗，漏率≤1×10???Pa·m3/s； 低功率空跑靶材30 min，逐步升壓，讓分子泵軸承重新分布潤滑膜。 同時(shí)校準(zhǔn)真空計(jì)、溫控器與MFC，記錄數(shù)據(jù)波動(dòng)，建立金屬表面處理日志，可大幅降低重啟故障率，保障金屬表面處理連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)。

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